旋转剥离膜
旋转剥离膜为超高真空束流诊断专用设备，集成旋转转盘、磁流体密封传动、四支点同步升降机构与分层自动化控制系统，可稳定 25Hz 高速同步运转，具备高精度相位控制、低振动、高真空密封性能，适配真空束流探测场景。
（1）25Hz 高速同步旋转，相位控制精度 ±0.19°，支持多膜片连续工位安装
（2）全不锈钢超高真空腔体，整机漏率优于 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
（3）四支点同步升降 + 多维度调节，安装对位灵活精准
（4）动平衡校正 + 磁流体传动，运行振动小、稳定性高
（5）本地 / 远程双控模式，集成状态监控与故障报警
| 整体极限真空度 | ≤1×10-6Pa |
| 相位控制精度 | 相位同步精度要求 < 0.5° |
| 真空罩检总漏率 | ≤1×10-10Pa·m3/s |
| 转盘动平衡测试 | 转盘的动平衡量要求≤shtur |
| 振动烈度测试 | 振动烈度要求有效值小于 0.5 mm/s@25Hz |
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