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费勉仪器（FERMI INSTRUMENTS）目前已成功开发出针对复杂真空系统碳污染原位清除的新一代远程等离子清洗源。

低压气体受外界能量激发产生等离子体，包括电子、离子、中性原子或基团等不同成分，依靠活性粒子的“活化作用”与物体表面进行物理轰击和化学反应双重作用，将所需去除物质变为挥发性物质，即可经由抽真空去除。较之常规化学清洗，等离子表面处理不需要区分处理对象的基材类型，除去一些电敏感性设备，可用于金属、有机物等多种材料，不产生有害污染，综合成本低，此外还可以改善材料表面附着性能，因而广泛应用于等离子清洗、表面处理等领域。

目前，费勉仪器已开发出新一代远程等离子清洗源，则取消了腔体内部电极设计，更加安全方便。系统适用于超高真空工作环境，工作过程不需要拆除其他真空部件，并且无需拆除清洗源即可进行后续烘烤，使得真空系统可以更加长久地保持良好的真空度。 

▲复杂超高真空系统等离子清洗

新一代等离子清洗源工作气压从E-3 mbar到1 mbar，工作气体选择广泛，以匹配去除不同类型的污染物。可根据实际需求将等离子体中离子与活化分子分离，避免离子轰击对表面产生伤害或者加热样品，仅通过活化成分，如氧原子、活性氧分子等与有机物进行反应，去除表面污染。